دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم  دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

آزمایشگاه مربوطه :

مجموعه آزمایشگاه ها مرکز خدمات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

سازمان مربوطه :

دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان آزادی، دانشگاه صنعتی شریف، مجتمع خدمات فناوری، مرکز خدمات آزمایشگاهی

مشخصات دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم :

تاریخ بروزرسانی : ۱۴۰۲/۰۱/۲۰

نام انگلیسی :

DC Magnetron Sputter Coater

زمینه های کاربردی

مهندسي , پزشكي , علوم پايه , كشاورزي , بيوتكنولوژي , ساير

خاصیت قابل اندازه گیری :

فیزیکی

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

انجام لایه‌نشانی تحت خلأ موردنیاز با استفاده از پمپ‌های روتاری و توربو. زیرلایه به ابعاد حداکثر 5 *5 سانتی‌متر

توضیحات :

لایه‌نشانی به روش کندوپاش در خلأ ایجادشده توسط پمپ‌های روتاری و توربو انجام می‌شود که با اعمال جریان و ولتاژ مناسب گاز آرگون یونیزه شده و پلاسما تشکیل می‌شود و با توجه به تارگت موردنظر در جریان خاصی لایه‌نشانی آغاز می‌شود. لایه‌نشانی توسط کریستال کوارتز در حین لایه‌نشانی کنترل شده تا به ضخامت مورد نظر برسیم.

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
لایه نشانی فلزات و اکسیدهای فلزی nm 5nm
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لایه نشانی فلزات و اکسیدهای فلزی توسط آزمايشگاه -
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه تا چهارشنبه ۰۸:۰۰ ۱۵:۰۰ -
متخصصین دستگاه
نام و نام خانوادگی مرتبه علمی تلفن
مونا میرمطلبی كارشناس -